SKN-GP500射頻磁控：

射頻磁控濺射系統利用電離的(de)Ar+ 離子(zǐ)，在(zài)磁場 作用下轟擊靶材，帶電納米離子(zǐ)在(zài)磁場作用下偏轉，中性粒子(zǐ)在(zài)襯底上(shàng)成膜。

 磁控濺射有兩種模式，直流模式濺射金屬材料，射頻模式濺射氧化物材料。薄 膜生長速率快、可靠性好、厚度可原位檢測。