集成電路測試系統

★1.脈沖響應測試單元

1.2.電壓脈沖寬度可調優于(yú)200ns

1.3.脈沖正負、幅值、頻率、個(gè)數可編程

★2.I-V測量單元

2.2.電流轉換範圍：10pA-10mA

2.3. 電流-電壓(單向線性掃描，範圍可調，步長0.02V—1V)

2.4.電流-電壓(循環線性掃描，掃描循環次數優于(yú)10⁶)

★3.I-T測量單元

3.2.10 MSa/s，100 ns 采樣率

3.3.時(shí)間可任意設置